TGG1

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Beschreibung

  • Structure: the grating is formed on Si wafer top surface
  • Edge angle: 70 degrees
  • Edge radius: ≤ 10 nm
  • Period: 3 ± 0,05 µm
  • Chip size: 5 x 5 x 0,5 mm
  • Effective area: central square 3 x 3 mm
  • Producer: TipsNano