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UMG500
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Beschreibung
Grating type : Si / 20 nm SiO₂
Height : ≤ 20 nm
Chess Pitch : 500 nm
Chess Area : 500 µm x 500 µm
Arrow Pitch : 10 µm
Line Pitch : 20 µm
Line Length : 500 µm
Producer: Anfatec